MC/MA300工具金相显微镜
主要特点:
MC/MA300金相显微镜集自动聚焦系统、修整、DIC、偏振光系统、系统形成一个有机整体，可以充分保证TFT面板外观观察测量的生产要求，根据不同产品与不同硬件的工艺要求在生产过程中能够满足液晶行业上下游不同生产要求，提高质量控制
技术参数:
| 型号 | MC300 | MC400 | MC500 |
| 型号 | MA300 | MA400 | MA50 |
| 测量范围（mm） | 300*300*200 | 400*300*200 | 500*400*200 |
| X、Y轴精度（um） | 2.0+L/200 | 2.5+L/200 | 2.5+L/200 |
| Z轴精度（um） | 3.5+L/200 | 3.5+L/200 | 3.5+L/200 |
| X Y矢量精度（um） | 3.0+L/200 | 3.8+L/200 | 4.0+L/200 |
最大负载重量(kg):MC300/MC400:25kg/MC500:30kg ;
MA300/MC400/MC500:25kg防震装置:可选/标配
操作装置(MC):XY手动，z轴伺服电机自动对焦+0.1细手脉冲
操作装置(MA):XY手动，z轴电机上下+0.3精细手脉冲
分辨率：0.1um
微调位移精度：MC 0.0001mm/ MA0.0003mm
金相系统：无限远三目光学系统：5X、10X、20X、50X（明场）物镜
目镜：10X/23
测量软件：MC半自动测量软件/MA手动软件
Z轴运动装置(MC):半自动控制器+伺服电机
Z轴运动装置（MA):PLC+伺服电机
照明光源：LED或卤素同轴反射光源、100W光纤透射冷光源箱
